潔淨蒸汽通常指優於工業蒸汽的三類高品質蒸汽，各自對應不同的純度標準和應用場景。

過濾蒸汽由工業蒸汽經過高效過濾裝置產生，要求去除所有粒徑大於5微米的顆粒，包括固體和液滴，遵循3A標準、英國熱保存食品指南和FDA材質規範。

潔淨蒸汽（涵蓋醫院蒸汽、HTM2031標準蒸汽、EN285標準蒸汽 ）包含寬泛的純度和品質要求，從基本不含“鍋爐給水化學物質”到具備特定純度特征不汙染產品或製程的規範潔淨氣體。這類蒸汽由獨立發生器產出，可采用軟化飲用水、去離子水或反滲透水作為給水。

純淨蒸汽在潔淨蒸汽基礎上要求更為嚴格，其冷凝水必須符合USP級注射用水標準，且不含細菌或熱原質，遵循EN285、HTM2031、HTM2010、ISPE、ASME BPE等多重國際標準。

這些標準體係為蒸汽品質提供了明確的技術規範，確保在不同應用場景下蒸汽的純淨度和安全性符合行業要求。